SEM扫描电镜技术员测量尺寸可能遇到的误区

 　　校准良好的现代CD-SEM扫描电镜仪器能够进行*高分辨率和高度精确的测量。由于蔡司扫描电镜进行了许多改进，可以使用适当的校准样本以较高的置信度精确校准放大倍率(或刻度)。测量精度一般可以达到或优于0.2nm (1σ)，在半导体生产等许多应用中，这样的高精度已经足够。

　　SEM扫描电镜技术员测量尺寸可能遇到的潜在误区，其中包括：

　　误区1：SEM扫描电镜图像的形成像标准光学显微镜一样，可以同时观察和记录整个领域。真相1：SEM图像是以点对点的方式形成的，记录的是样品扫描时产生的采集信号的调制。

　　误区2：SEM扫描电镜图像是所观察样品的真实再现。真相2：由于电子束-样品相互作用、原子序数差异、形貌和边缘增强效应会使二次电子图像解读复杂化，并掩盖样品的真实边缘，从而增加测量的不确定性。

　　误区3：显微照片上显示的放大倍率和线条刻度是长度尺寸的真实测量值。

　　真相3：不一定，扫描校准对获得准确数据至关重要，但用户还必须检查成像或显示中使用的任何其他校准，例如显示图像的字母数字校准--通常这些校准是相互独立的。

　　对于成像和测量，了解造成误差的因素至关重要。精度是准确性的必要条件，但并不是充分条件。为了保证目前的准确性，以及未来的准确性，图像和仪器建模至关重要。

　　建模对于从采集的图像中确定实际结构至关重要。此外，建模还能揭示这些数据中大量未见的额外信息。要做到这一点，需要采用经过测试和验证的基于物理学的电子束-样品相互作用和信号生成模型。整个模型还必须考虑到电子设备、和可能的样品充电效应等。模型所模拟的图像可以与SEM的实际图像进行比较。建模将揭示更多被测样品的结构和尺寸信息，并最终不确定度水平上提供精确的测量结果。